




特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工
輔助系統(tǒng)的設(shè)計
氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng),特種氣體廠,但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應(yīng),這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX)、酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX)、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管,濟南特種氣體,酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管,特種氣體廠商,溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。


特種氣體的分類
近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高,所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括:
1、硅族氣體:含硅基的硅i烷類。
2、摻雜氣體:含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。
3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主。
4、反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主。
5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬。

特種氣體的作用:
1、反應(yīng)及中和介質(zhì),在精細化工、生物醫(yī)1療中用于反應(yīng)、保護等。
2、冷凍和保鮮介質(zhì),常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。
3、治1療殺菌介質(zhì),氦氣、氧氣、氮氣、激光混合氣等用于醫(yī)1療設(shè)備。
4、綜合手段與介質(zhì),應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護、核反應(yīng)堆的保護、電光源照明行業(yè)和吹掃等。
氦質(zhì)譜檢漏法是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力丈量原理,完成被檢件的氦走漏量丈量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,走漏出來的氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后,由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。


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